| 故障現象 | 原 因 | 排 除 方 法 | |
| 1 | 真空抽不上 | 1 密封條老化失效 | 更換密封條。密封條盡量不要接觸有機質溶劑及其氣氛。 |
| 2 真空泵失效 | 更換真空泵 | ||
| 3 門未關緊 | 重新關緊并在開始抽真空時輕推玻璃。 | ||
| 4 真空表真空度顯示假象。 | 更換真空表 | ||
| 溫度波動大 | 1 外界供電電壓變化大 | 采取穩壓措施，使之達到設備供電要求。 | |
| 2 控溫儀表漂移 | 更換控溫儀表。 | ||
| 不升溫 | 1 加熱器斷路 | 排除接線斷路可能后故障依舊則更換加熱器 | |
| 2 傳感器斷路 | 排除接線斷路可能后故障依舊則更換傳感器 | ||
| 3 繼電器斷路 | 排除接線斷路可能后故障依舊則更換接觸器 | ||
| 4 控溫儀表未設定好 | 按說明書規定要求重新設定控溫儀表。 | ||
| 控溫失效 溫度直升 | 1 傳感器短路 | 排除接線短路可能后故障依舊則更換傳感器 | |
| 2 繼電器短路 | 更換繼電器 | ||
| 3 控溫儀表失效 | 更換控溫儀表。 |
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